Sputter-Magnetron SM

Unser größter extern montierbarer Endblock, der SM, kann Ziele bis zu 4000 mm (unterstützt) aufnehmen und hat eine Nennleistung von bis zu 200 kW DC oder 80 kHz MFAC. Er verwendet dieselbe patentierte Technologie wie unsere internen Endblöcke, um ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis, Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten, hat aber eine breitere Substratabdeckung und eine anpassbare Antriebswellenlänge. Art: Einfaches, einseitiges Design mit Außenunterstützung, falls erforderlich, für schnelle Zielwechsel, hohe Zuverlässigkeit und einfache Wartung; für 125-mm-ID-Ziele Leistung (Maximum): 200 kW DC oder MFAC V/A: 1500 V / 450 A Targetlänge (Maximum): 4000 mm Instandhaltung Do-it-yourself auf Ihrem Terminplan und in Ihrer Einrichtung; Lehrvideos verfügbar Der Endblock kann mit angebrachten externen Hilfsmitteln montiert bleiben Typische Anforderungen: - Dichtungssatz und Buchsen alle 2 Jahre (1 Stunde) - Statische Dichtungen, Lager und Riemen nach 10 Jahren (3 Stunden)