Rotations-Magnetron TC-Series

Sputter

Die internen Endblöcke der TC-Serie verfügen über eine einzigartige Stromzuführungstechnologie in der kompaktesten verfügbaren Ausführung. Der TC kann Ziele bis zu 1500 mm bearbeiten und hat eine Leistung von 40 kW DC oder 80 kHz MFAC. Die SCI-Innenausbau-Endblöcke haben eine hohe Zuverlässigkeit und ein einfaches, wartungsfreundliches Design. Die einseitige Konfiguration reduziert die Anzahl der rotierenden und statischen Dichtungen, eine der häufigsten Ausfallarten bei Rotationskathoden. Unsere einzigartige Wasserbe- und -entleerungsfunktion ermöglicht eine verbesserte Zielkühlung und ein vollständiges Ablassen des Zielwassers beim Abblasen. Die Konstruktion schließt die Möglichkeit galvanischer Korrosion im Inneren des Endblocks aus, die zu Wasserleckagen und Kurzschlüssen führen könnte. Die TC-internen Endblöcke von Sputter Components können auf jeder neuen Beschichtungsanlage installiert werden oder können einfach planare Systeme ersetzen. Eigenschaften Patentierte Power-Deliver-Technologie Einzigartige Zielbefestigungsmethode Langlebige, langlebige Rotationsdichtungen Kompaktestes Design für Standard-Industrietargets Nicht-proprietäres Targetdesign Passt zu Standard-Targetgrößen Patentierte Funktion zum Füllen/Abtropfen des Zielwassers Vorteile Hervorragende Zuverlässigkeit Einfach zu installieren Schneller Zielwechsel 2 Stunden jährliche Wartung; 3 Stunden Umbau des gesamten Endblocks Sehr geringe Wartungskosten Verwendung von Targets beliebiger Hersteller Hervorragende Leistungsfähigkeit ohne induktive Erwärmung - kein Bürstenstaub Keine galvanische Korrosion