Kathode für Rotativ-Zerstäubung / mit Innenmontage MC-Series

Der MC ist unser mittelgroßer innenliegender Endblock. Er kann Ziele bis zu 2500 mm bearbeiten und hat eine Leistung von bis zu 100 kW DC oder 80 kHz MFAC. SCI Endblöcke haben eine hohe Zuverlässigkeit und ein einfaches, wartungsfreundliches Design. Die einseitige Konfiguration reduziert die Anzahl der rotierenden und statischen Dichtungen, eine der häufigsten Ausfallarten bei Rotationskathoden. Unsere einzigartige Wasserbe- und -entleerungsfunktion ermöglicht eine verbesserte Zielkühlung und ein vollständiges Ablassen des Zielwassers beim Abblasen. Die Konstruktion schließt die Möglichkeit galvanischer Korrosion im Inneren des Endblocks aus, die zu Wasserleckagen und Kurzschlüssen führen könnte. Die MC-Endblöcke von Sputter Components können auf jedem neuen Coater installiert werden oder können einfach planare Systeme ersetzen. Eigenschaften Patentierte Technologie zur Leistungsübertragung Einzigartige Zielbefestigungsmethode Langlebige, langlebige Rotationsdichtungen Industriestandardmontage am Deckel Nicht-proprietäres Targetdesign Patentierte Zielwasserfüllung und -abfluss Magnetleiste kann in jedem beliebigen Winkel eingestellt werden Vorteile Höchste Zuverlässigkeit auf dem Markt Einfache Installation oder Nachrüstung von konkurrierenden Endblöcken Schnellste verfügbare Zieländerung 1 Stunde jährliche Wartung; 3 Stunden Umbau des gesamten Endblocks Geringste Wartungskosten Verwendung von Targets beliebiger Hersteller Hohe Leistung ohne induktive Erwärmung - kein Bürstenstaub Keine galvanische Korrosion