Das 20B-5P-4D ist die neueste Spezifikation für das doppeltes seitliches Polieren 300mm oder 200mm der Oblaten. Mit unvergleichlicher Stabilität stellt dieses System 15 je 200mm Oblaten pro Reihe und 5 je 300mm Oblaten pro Reihe in Serienfertigung her. Dieses ist das ideale System für hohe Flachheit, niedrige Nanotopography Automatisierung, Wartung und Kosten des Besitzes. Das 20B05P-4D befriedigt die strengsten Nachfragen nach Präzision und rollt-weg.
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