Poliermaschine für Keramik FAM5 seriesfür Plattenautomatischeinseitig
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Eigenschaften
- Bearbeitetes Material
- für Keramik
- Anwendung
- für Platten
- Weitere Eigenschaften
- automatisch, einseitig, Präzision, chemisch-mechanisch
Beschreibung
- Die SpeedFam-Maschinen 50-SPAW und 59-SPAW sind automatisierte einseitige mechanochemische Poliersysteme für die Bearbeitung von nackten Siliziumwafern. Wir transportieren keramische Montageplatten (be- und entladen mit Wafern) automatisch. Diese Systeme sind mit verschiedenen fortschrittlichen Technologien ausgestattet, wie z. B. Polierplatten und Kühlmäntel mit geringer Wärmeausdehnung, unabhängiger Zwangsantrieb und Präzisionsdruckregelung für jeden Prozessträger.
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.