Kantenpoliermaschine EP-X series

IndustrieautomatischOberflächen

Die SpeedFam EP-X Serie sind Kantenpolierer mit hohem Durchsatz für 300mm, 200mm und 150mm Prime Siliziumwafer. Neben unserem einzigartigen Polieren von drei Oberflächen (obere/untere Fasen und Wafer-Apex) bieten wir auch Orientierungsflach- und Notch-Region-Spiegelpolieren an, um Schäden zu entfernen und die gesamte Domäne des Kantenfasenbereichs vorzubereiten SpeedFam hat seit 1988 etwa 550 Kantenpolierer für Prime-Wafer ausgeliefert. Der SpeedFam Edge Polisher ist der globale Standard in der Kantenvorbereitung, der in Prime-Wafer-Fabriken auf der ganzen Welt eingesetzt wird. SpeedFam unterstützt die 300mm, 200mm und 150mm Prime-Wafer-Produktion. Die SpeedFam EP-X Serie sind Kantenpolierer mit hohem Durchsatz für 300mm, 200mm und 150mm Prime-Silizium-Wafer. Neben dem einzigartigen Polieren von drei Oberflächen (obere/untere Fasen und Wafer-Apex) bieten wir auch das Spiegelpolieren von Orientierungsflächen und Notch-Bereichen an, um Schäden zu entfernen und den gesamten Bereich der Kantenfase vorzubereiten.