Kantenpoliermaschine EPD-X series

Industrieautomatisch

Das EPD ist ein System, das die Waferkante durch Polieren von strukturierten Wafern verbessert. Der EPD entfernt Fremdkörper und unerwünschte Substanzen von der Kantenfase an kritischen Prozessknoten. SpeedFam ist der Pionier des Edge Polishers für die Produktion von Prime-Wafern. Wir setzen dieses System mit erstaunlichen Ergebnissen auf 300mm-, 200mm- und 150mm-Wafern ein. SpeedFam hat seit 1988 etwa 550 Edge Polisher für Prime-Wafer ausgeliefert. Der SpeedFam Edge Polisher ist der globale Standard in der Kantenpräparation, der in Prime-Wafer-Fabriken auf der ganzen Welt eingesetzt wird. SpeedFam unterstützt die 300mm, 200mm und 150mm Prime-Wafer-Produktion. Der SpeedFam EPD ist ein Kantenpolierer zur Verbesserung der Waferkanten auf 300mm, 200mm und 150mm strukturierten Wafern. Im Vergleich zum Ätzen oder anderen Kantenbearbeitungen, wie z.B. einfaches Reinigen, nutzt der EPD die Slurry-Polierwirkung, um Waferkanten drastisch zu verbessern. Er ist mit einer Post-Polish-Clean-Einheit ausgestattet, um eine Dry-in-Dry-out-Bearbeitung zu erreichen.