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Steuerungseinheit für die Druckkalibration MP3Edelstahlmanuellpneumatisch
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Eigenschaften
- Anwendung
- für die Druckkalibration
- Weitere Eigenschaften
- Edelstahl, manuell, pneumatisch
Beschreibung
Entnahmepanels für Halbleitergase ab Qualität 6.0
Blockventil für Druckentlastung in Richtung Abgas
Hand-/Pneumatik-Not-Aus-Ventil für die Brauchgas-Hochdruckseite
Blockventil für Spülgaseintritt
Rückschlagventil gegen Rückströmen von Brauchgas in den Spülgasstrang
Vorfilter
Druckregler
Berstscheibe (E60)
Kontaktmanometer für Berstscheibenüberwachung (E60)
Abblaseventil (E60)
Filter für partikelfreie Brauchgasversorgung
Absperrventil für Brauchgasentnahme
Absperrventil für Druckentlastung in Richtung Abgas
Absperrventil für Dichtheitsprüfung bzw. Vakuum
Vakuumanschluss
Alle medienberührten Teile aus Edelstahl 1.4404 ESU sowie Hastelloy C und PCTFE
100 % Helium-leckgeprüft
Montage im Reinraum Klasse 100/10
Kataloge
Flocontrol TS
1 Seiten
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Spectropur
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.