Entnahmepanels für Halbleitergase ab Qualität 6.0
Blockventil für Druckentlastung in Richtung Abgas
Hand-/Pneumatik-Not-Aus-Ventil für die Brauchgas-Hochdruckseite
Vorfilter
Druckregler
Berstscheibe
Filter für partikelfreie Brauchgasversorgung
Alle medienberührten Teile aus Edelstahl 1.4404 ESU sowie Hastelloy C und PCTFE
100 % Helium-leckgeprüft
Montage im Reinraum Klasse 100/10