Umlaufkühler für die Halbleiterindustrie Nikola series

Wasserkondensationthermoelektrisch

HALBLEITER-KÜHLGERÄTE Nikola 3K/5K Thermoelektrische Kühler mit hoher Kapazität für Plasmaätzung und andere Halbleiteranwendungen Unsere Kühler mit der höchsten Kapazität, die speziell für die Halbleiterbearbeitung entwickelt wurden 3.000 oder 5.000 Watt Kühlleistung ±0,05°C Temperaturstabilität/Wiederholbarkeit Zwei Pumpenoptionen für Durchflüsse bis zu 10 gpm und Drücke bis zu 100+ psig Reduziert Schwankungen von Wafer zu Wafer und eliminiert den First-Wafer-Effekt Bis zu 80 % energieeffizienter als kompressorbasierte Kältemaschinen Verwendet thermoelektrische Technologie für hohe Zuverlässigkeit und reduzierte Wartungskosten Modulares Design für einfache Wartung Eliminiert Freon und andere schädliche Kältemittel, um die neuen Umweltvorschriften zu erfüllen Verbraucht weniger Betriebswasser und teure Kühlmittel, wie Fluorinert oder Galden Kommunikationsschnittstellen für AMAT-, LAM-, TEL- und Hitachi-Systeme verfügbar Universelle Stromversorgung - einstecken und loslegen, überall auf der Welt Eine exzellente Lösung für Plasmaätzung, Plasmaveraschung, Messtechnik, CMP und andere Prozesse