Die Mittel- bis Hochvakuumfilter der WL-Serie von Solberg sind für Industrie- und Halbleiterprozesse konzipiert, die eine überprüfte Leckrate erfordern und unter Mittel- bis Hochvakuumbedingungen betrieben werden. Die WL-Serie verfügt über verschiedene vakuumspezifische Anschlussoptionen, darunter ISO-Vakuumanschlüsse und zahlreiche Filtermedienoptionen für hervorragenden Schutz und Systemlebensdauer. Gehäuse dieser Serie werden zu 100 % auf Heliumlecks getestet, um die Vakuumintegrität mit verifizierten Leckraten von 1x 10-5 mbar l/s oder besser sicherzustellen.
Die WL-Einlassvakuumfilterserie von Solberg bietet mehrere Konfigurationen, darunter:
Hocheffiziente Filtration
Chemische Adsorption
Hochtemperatur-Konstruktionsmaterialien
Eigenschaften
NW16 - NW40 Flanschanschlüsse:
ISO-Flanschanschlüsse
ISO-Flansch aus Edelstahl
Buna-O-Ring abgedichtet
Nahtlos gezogene Gehäuse
Korrosionsbeständige Konstruktion aus Kohlenstoffstahl
Pulverlackbeschichtung (schwarze Modelle)
O-Ring-Gehäusedichtung
Torsionsklammern aus Edelstahl
K100 - K320 Anschlüsse:
ISO-K-Edelstahlflansche standardmäßig
Bearbeitete Flanschoberfläche nach RMS63, unbeschichtet
Hochwertige Vakuum-Servicekomponenten
Korrosionsbeständiger Kohlenstoffstahl mit schwarzer Pulverlackbeschichtung
KF10-Differenzanschlüsse für genaue Vakuum-ΔP-Messwerte
Bearbeitete und polierte Dichtflächen auf ISO-Flanschflächen für zuverlässige Vakuumleistung bei allen Flanschtypen
K200-Gehäuse und größer verfügen über einen gewölbten Deckel, um die Stabilität zu erhöhen