Inkrementaler Lineargeber METIRIO®

absolutanalogfür Robotik

Die integrierte Lichtquelle beleuchtet einen Maßstab, der ein inkrementales Gitter mit 20 µm Teilung und eine Spur mit Referenzmarken zur absoluten Positionierung umfasst. Das reflektierte Licht erzeugt ein Interferenzmuster, das von der Diodenanordnung im Abtastkopf erfasst wird. Eine Relativbewegung zwischen Maßstab und Abtastkopf führt zu analogen Sinus- und Kosinussignalen sowie zu einer TTL-Referenzmarke. > Kompakte Größe: 6,6 x 5,1 x 1,7 mm > Hohe Auflösung: 0.4 nm @ 1 m/s > Positioniergeschwindigkeit: bis zu 10 m/s > UHV-Kompatibilität bis zu 10-11 mbar > Betriebstemperaturbereich: 0 °C - 80 °C > Raue Umgebungen mit mechanischen Vibrationen > Kompatibel mit einer Vielzahl von Reflexionsmaßstäben mit 20 µm Teilung > Geschlossene Bewegungssysteme > Robotik > Halbleiterindustrie > Messgerät für Wegmesssysteme > Hochpräzise Probenabtastung in Life Science und Mikroskopie > Hochauflösendes 3D-Drucken > Forschung & Entwicklung