SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren.
Der PLF5252-x.200 bietet einen Scanbereich von über 200 μm in X-Richtung. Mit 90 g ist er sehr leicht und mit 52 x 52 x 15 mm auch recht kompakt.