Laser-Schwingungsmessgerät PICOSCALE

Rasterkontaktlosoptisch

Das PICOSCALE Vibrometer ist eine schlüsselfertige Lösung zur Messung von Schwingungen mikromechanischer Strukturen mit Größen von nur wenigen μm bis zu mehreren cm. Zu den Anwendungen gehören die Prüfung von MEMS, Sensoren, Miniaturlautsprechern, aber auch Lagern und Aktoren. Da das Gerät mit einem integrierten Mikroskop ausgestattet ist und bis zu 1 Million Pixel messen kann, eignet es sich hervorragend, um Schwingungsmoden mit hoher räumlicher und zeitlicher Auflösung zu visualisieren. Berührungsloses Messen mit Licht Scanning-Laserinterferometer zur Messung der Bewegung außerhalb der Ebene (in Richtung des Laserstrahls) Messbandbreite bis 2,5 MHz (10 MHz Abtastrate) mit einer Auflösung unter 13 pm Integriertes Infrarot-Konfokalmikroskop mit einer optischen Auflösung bis zu 2 μm Modalanalyse von gekapseltem MEMS Stroboskopische Abbildung der Bewegung in der Ebene (senkrecht zur Richtung des Laserstrahls) Schlüsselfertiges Instrument komplett mit Shaker-Stufe