Interferometer zur Verschiebungsmessung PICOSCALE V2

LaseroptischHochpräzision

Für die hochpräzise Messung von Verschiebungen bietet SmarAct das PICOSCALE Interferometer an. 3 parallele Laserinterferometer in einem Gerät für 3D-Messungen Messbandbreite bis 2,5 MHz (10 MHz Abtastrate) mit einer Auflösung bis 1 pm1 Messungen an den meisten Materialien (Kunststoff, Glas, Metall und sogar Wasser) möglich Große Auswahl an Sensorköpfen für verschiedene Anwendungen und Umgebungen (einschließlich Vakuum und Kryotechnik) verfügbar Erweiterbar zu einem kompletten Labormesssystem und Regelgerät mit optionalen Modulen Bewährte Leistung mit hunderten zufriedenen Kunden Die präzise Positionierung von Proben ist in einer Vielzahl von Anwendungen von größtem Interesse. Während Positioniersysteme mit Stick-Slip-Piezo-Technologie vielseitige Möglichkeiten bieten, ist das Schlupfverhalten in einigen Anwendungen unerwünscht. In diesem Fall zeigen Piezoscanner ihr volles Potenzial, da sie eine Probe sehr genau über einen Bereich von wenigen Mikrometern positionieren können. In diesem Anwendungshinweis werden die Schritte eines Piezoscanners überprüft. Im Closed-Loop-Betrieb mit einem optischen Encoder als Sensor, wird ein PICOSCALE Interferometer eingesetzt, um Einzelnanometerschritte aufzudecken.