XYZ-Positioniersystem

Laserkompakt

Das XYZ-Positionierungssystem hält den Sensorkopf und scannt den Laserstrahl über die Probe. Das XYZ-Positionierungssystem wird verwendet, um den Sondenstrahl des Interferometers zu positionieren und über den zu untersuchenden Bereich zu führen. Das Positioniersystem besteht aus drei SmarAct-Positionierern mit geschlossenem Regelkreis, die in einem kompakten Schutzgehäuse untergebracht sind. Jeder Positionierer hat einen maximalen Scanbereich von 20 mm und eine Reproduzierbarkeit von 50 nm. Der Sensorkopf ist auf dem untersten Positionierer montiert. Das XYZ-Positioniersystem ist auf einer Säule mit einem Durchmesser von 25 mm montiert, so dass es leicht in der Höhe verstellt werden kann, um Proben mit unterschiedlichen Abmessungen aufzunehmen. Es ist sogar möglich, das Positioniersystem von seinem Montagepfosten zu entfernen, um es in einem benutzerdefinierten Aufbau zu installieren oder es mit einem anderen Instrument zu kombinieren.