Dreifüßiges Positioniersystem TRIPOD 52-6DoF
6-AchsXYZlinear

Dreifüßiges Positioniersystem - TRIPOD 52-6DoF - SmarAct GmbH - 6-Achs / XYZ / linear
Dreifüßiges Positioniersystem - TRIPOD 52-6DoF - SmarAct GmbH - 6-Achs / XYZ / linear
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Eigenschaften

Achszahl
XYZ, 6-Achs
Aufbau
linear, Dreh, dreifüßig
Verwendung
Vakuum
Wiederholbarkeit

50 nm

Hub

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Beschreibung

Das TRIPOD 52-6DoF-Bewegungssystem hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische. Die zentrale Komponente des TRIPOD 52-6Dof ist das parallelkinematische TRIPOD 52-Core. Das Design aus drei radial angeordneten Türmen ermöglicht eine Roll- und Nickbewegung der Endeffektorplatte mit einem Gesamtausschlag von 20° für Rx, 19° für Rx und einer linearen Translation in Z-Richtung von 6 mm. Auf dem TRIPOD 52-Core befindet sich ein Rotationstisch SR-3211, der eine unbegrenzte Rotation um die Z-Achse ermöglicht. Das TRIPOD 52-Core ist vollständig kompatibel mit dem modularen CLS-52 Baukasten und wird auf einer XY-Plattform platziert, die aus zwei linearen Positionern der CLS-52 Serie besteht. Die Bodenplatte ermöglicht eine direkte Montage auf einem optischen Standard-Breadboard mit einem 25-mm-Raster. Die Werte für den Rotationsweg sind für einen Drehpunkt an der Oberfläche der oberen Platte angegeben. Die Werte für die Drehwinkel sind für einen Drehpunkt an der Oberseite der Endeffektorplatte angegeben. Die Gesamtabmessungen des kompletten Systems können für verschiedene Posen größer sein. Weitere Informationen finden Sie im CAD-Modell im Download-Bereich. Die Wiederholgenauigkeit wird etwa 20 mm über der Endeffektorplatte jedes Systems, über den gesamten Verfahrweg und für jeweils einen Freiheitsgrad gemessen. Die Werte können bei kürzeren Verfahrwegen besser sein.

Kataloge

Catalog 22
Catalog 22
182 Seiten
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 Seiten

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.