Nano-Positioniersystem / 3-Achs NMM-1

Laseroptischfür Industrieanwendungen

Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten und Strukturen mit Nanometergenauigkeit • weltweit präziseste Nanopositionier- und Nanomessmaschine • Mess- und Positionierbereich 25 × 25 × 5 mm • Auflösung 0,1 nm • 3D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit • Antastsysteme, z. B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster • Offene Gerätearchitektur ermöglicht eine Anwendung von kundenspezifischen Sensoren • Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine PC-Software. Eine Anwender-API ist vorhanden. Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine zur dreidimensionalen Koordinatenmessung arbeitet in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm mit einer Auflösung von 0,1 nm. Durch die spezielle Sensoranordnung wird eine, in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messung gewährleistet. Die Messachsen von drei Miniaturinterferometern schneiden sich virtuell im Berührungspunkt des Antastsensors mit dem Messobjekt. Das Messobjekt liegt direkt auf einer beweglichen Spiegelecke. Die Position der Spiegelecke wird durch die drei fest angeordneten Miniaturinterferometer erfasst. Die Positionierung der Spiegelecke erfolgt über ein dreiachsiges Antriebssystem. Mit zwei Winkel­sensoren werden die Winkelabweichungen bei der Positionierung gemessen und ausgeregelt. Das Licht eines stabilisierten Lasers wird über Lichtwellenleiter von der Elektronikeinheit zu den Interferometerköpfen geleitet. Dies ermöglicht einen kompakten und temperaturstabilen Aufbau der Nanopositionier- und Nanomessmaschine.