Kalibrierungs-Interferometer SP 5000 TR

für OEM-Anwendungenzur sub-pikometrischen zur sub-nanometrischen Wegmessungzur Längenmessung

Dreistrahliges laserinterferometrisches Messsystem für simultane und genaue Längen-, Nick- und Gierwinkelmessungen • flexibles Längenmesssystem höchster Genauigkeit • einfache Handhabung und Justage durch integrierte Strahlrichtungsdetektion • verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor • zulässige Verkippung des Messreflektors bis zu ± 12,5° • kompaktes Design • Ausführung des Sensorkopfes wahlweise in Aluminium, Edelstahl oder Invar • Strahlabstände: 12 mm • OEM-Versionen, OEM-Software und Vakuum-Version sind möglich • Strahlumlenkung mit einem optional erhältlichen, justierbaren Umlenkspiegel • erweiterte Einsatzbereiche durch optionale Schnittstellen • umfangreiche Triggermöglichkeiten • Kalibriersoftware entsprechend den aktuell gültigen Normen Viele Anwendungsgebiete in Industrie und Forschung verlangen hochpräzise simultane Weg- und Winkelmessungen. Die gleichzeitige Erfassung der Nick- und Gierwinkel sowie der Längenmessung, während der Bewegung des Schlittens, auf dem die Dreifachreflektoreinheit fixiert ist, macht es möglich, schnell und hochpräzise Bewegungsachse zu bewerten. Dabei ist eine schnelle und unkomplizierte Sensorjustage besonders wichtig. Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR sind Präzisionslängenmessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer in sich vereinen. Alle drei Messkanäle werden von einer Lichtquelle mit gleicher, hochstabiler Laserfrequenz gespeist. Somit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem kalibrierten Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochaufgelöst und hochgenau bestimmen.