Laser-Interferometer SP 5000 DI

für OEM-Anwendungenzur sub-nanometrischen Wegmessungzur Längenmessung

Hochstabiles Differenz-Laserinterferometer mit zwei parallelen Messstrahlen • Differenzlängen- oder Winkelmessung höchster Genauigkeit • Minimierung der Umwelteinflüsse durch Differenzmessung • thermisch langzeitstabiler Sensor, Temperaturempfindlichkeit < 20 nm/K • verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor • große Kippinvarianz des Messreflektors • Ausführung des Sensorkopfes standardmäßig in Edelstahl • Strahlabstand: 21 mm • umfangreiche Triggermöglichkeiten • offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux Unser ultrastabiles Differenz-Laserinterferometer SP 5000 DI zeichnet sich durch eine einzigartige thermische Stabilität aus und wird daher bevorzugt für Langzeitmessungen in Forschung und Entwicklung, z. B. bei der Analyse von Materialeigenschaften eingesetzt. Im Unterschied zum Standardinterferometer wird bei der differentiellen Variante der Referenzstrahl aus dem Sensorkopf herausgeführt und verläuft parallel zum Messstrahl. Dieses Konzept ermöglicht die Platzierung des Sensors im größeren Abstand zum eigentlichen Messort, ohne dass die Auflösung oder die Stabilität der Messung signifikant beeinflusst wird. Die Längenauflösung dieses Interferometers liegt im Sub-Nanometer-Bereich und ist durch das Differenzprinzip bei vergleichbaren Mess- bzw. Strahllängen auch unter normalen Laborbedingungen erreichbar. Der Messbereich für die Längenmessung kann mehrere Meter betragen, wenn kippinvariante Reflektoren für die Messungen verwendet werden. Das interferometrische Messsystem ist modular aufgebaut und kann dadurch an die jeweilige Messaufgabe angepasst werden.