Sputter-Auftragsmaschine / Inline G600MN

Das G600MN Inline-Sputtersystem ist ein Hochleistungssystem für die Beschichtung von 3D-Artikeln verschiedener Art zu dekorativen Zwecken, zur Erhöhung der Verschleißfestigkeit, zur elektromagnetischen Abschirmung usw. Das Inline-System arbeitet kontinuierlich über 120 Stunden (die Ausstoßrate eines Trägers mit beschichteten 3D-Artikeln beträgt 15 Sekunden). Technik und Technologie Die Inline-Anlage ist als modulare Single-Ended-Struktur für den kontinuierlichen Single-Pass-Betrieb konzipiert. Sie besteht aus einer Reihe von Kammern: Trägerlade-/Entladekammer, Verriegelungskammern, Glimmentladungskammer, Magnetron-Sputterkammer und Trägerdrehkammer. Für die lineare Bewegung der Substrate innerhalb des Inline-Systems werden maßgeschneiderte Träger mit Halterungen verwendet. Die Positionen der Träger werden von optischen Sensoren in allen Kammern erfasst. Doppelkammern und autonome Zwei-Wege-Rollenbahnen gewährleisten einen direkten und rückwärtigen Carrierfluss. Die Wendekammer dient zur Übergabe des Trägers vom direkten Flussweg zum Rückflussweg. Als Vorbehandlungsquelle wird ein Glimmentladungsgerät eingesetzt. Die Beschichtung erfolgt mit DC-Planar-Sputter-Magnetrons. Einstellbare schräge Magnetronpositionen und Substratrotation in den Prozesskammern gewährleisten eine gleichmäßige Beschichtung. Die Pumpstation besteht aus Turbomolekularpumpen. Das Steuersystem ermöglicht die vollautomatische Überwachung und Steuerung des Trägertransports und des gesamten technologischen Prozesses. Das Inline-System ist mit der Fließlinie des Kunststoffspritzens und der Substratlackierung kompatibel. Das Datenblatt Substrat: Kunststoff, Metall, Legierung, Glas 3D-Teile Maximale Substratgröße (Durchm. x H): 145 x 210 mm Beschichtung: Metalle, Legierungen Leistung: 4 Träger/ min Kontinuierlicher Betrieb: 120 h