Sputter-Auftragsmaschine / vertikal / in Reihe geschaltet 2SV2215MR

für Spiegel

Das 2SV2215MR Vertical In-Line Sputtering System ist ein modulares, flexibles System für die Abscheidung von ein- und doppelseitigen Multilayer-Stacks auf Flachglas. Das In-Line-System wird für die Produktion von Architekturglas, Photovoltaik, Kunstrahmen und Gartenbauglas verwendet. Technik und Technologie Die Anlage ist als einseitiger Aufbau mit Schleusen-, Transfer- und Abscheidekammern konzipiert. An der Eingangs-/Ausgangsseite der Anlage sind Roboterstationen zum Be- und Entladen von Glas sowie ein Trägerwechselmagazin angeordnet. Die Kammer für die Querbewegung der Kassetten dient dem Glastransfer vom direkten Fließweg zum Rückflussweg für die Beschichtung der zweiten Glasseite. Für die Glasaufnahme und -übergabe werden kundenspezifische Träger verwendet, das Glas wird vertikal ohne Neigung positioniert. Die vertikale Positionierung von Glas und Magnetron ermöglicht eine partikelfreie Abscheidung. Lineare Ionenstrahlquellen (4 Stück pro Glasseite) werden für die Vorbehandlung der anderen Glasseiten verwendet. Jede Beschichtungskammer ist in zwei ähnliche, isolierte Abteile unterteilt, in denen die Kassetten für die aufeinanderfolgende Beschichtung beider Glasseiten direkt und rückwärts gefahren werden. Die Sputterkammern sind mit hochleistungsfähigen, drehbaren Doppelmagnetrons ausgestattet, die mit MF-Netzteilen betrieben werden (13 Doppelmagnetrons pro Glasseite). Jedes Abscheidefach ist durch abgepumpte Gastrennzonen isoliert. Separate PEM-Kanäle und mehrteilige Gaszuführungen für jedes Doppelmagnetron sowie die In-situ-Messung der optischen Parameter jeder abgeschiedenen Schicht sorgen für eine optimale Prozesssteuerung und die erforderliche Gleichmäßigkeit der Beschichtung.