Die Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlage P600MR ist für die Herstellung einheitlicher einseitiger Beschichtungen auf Polymerfolien vorgesehen. Diese Beschichtungsanlagen können leicht an die Anforderungen der Kunden angepasst werden und gewährleisten die Abscheidung von Einzelschichten sowie von mehrschichtigen Stapeln für Touchpanels, LCDs, Solarzellen und Solarsteuerungsmaterialien. Sie können auch für die Abscheidung dicker leitender Metallschichten für FPCBs verwendet werden.
Technik und Technologie
Einseitige Beschichtungen werden in drei isolierten Kammern mit jeweils einer Prozesstrommel abgeschieden. Das Heiz-/Kühlsystem der Prozesstrommeln bietet die Möglichkeit, die Funktionsfähigkeit der Beschichtungsanlage erheblich zu erhöhen.
Das Design der Mehrkammern mit separaten Pumpen sorgt für den notwendigen Druckunterschied zwischen den benachbarten Sputterzonen. Die vertikale Substratzuführung gewährleistet eine partikelfreie Beschichtungsoberfläche.
Besonderes Augenmerk legt SIDRABE auf die Vorbehandlung der Folienoberfläche: zunächst wird die Folie in der Vakuumtrocknungsanlage C2P670 getrocknet und anschließend im Beschichtungsgerät plasmabehandelt.
Je nach gewünschtem Prozess bieten wir verschiedene Magnetron-Kombinationen an, z.B. Doppel- oder Einzelmagnetrone, zylindrisch oder planar, gespeist mit Gleichstrom, gepulstem Gleichstrom oder Wechselstrom. Die Zielmaterialien können Metalle oder Keramiken sein.
Die Inline-Überwachung der Transmissions- und Reflexionsparameter der Beschichtung nach jeder Abscheidungszone gewährleistet die Genauigkeit der Eigenschaften jeder abgeschiedenen Schicht.
Die Inline-Überwachung des Schichtwiderstands wird mit der Vier-Sonden-Methode auf zwei Kontaktwalzen realisiert.
Das Mehrkanal-Plasmaemissionsspektralphotometer und die mehrteiligen Gaszuführungsrohre gewährleisten die Kontrolle des Abscheidungsprozesses und die Gleichmäßigkeit der Beschichtung.
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