Massendurchflussregler MFC2000

für GasIP40

Die MFC2000-Serie ist für allgemeine Massendurchflussregelungsanwendungen mit sauberen und trockenen Gasen konzipiert. Sie nutzen den Thermal-D-Sensorchip des Unternehmens und können für nicht-korrosive Gase mit bekannten Diffusivitäten eingesetzt werden. Die Massendurchflussregler der Serie MFC2000 werden mit der von Siargo entwickelten MEMS-Kalorimetrie (mikroelektromechanische Systeme) mit Diffusionssensortechnologie (Thermal-D ®) hergestellt, die die Kalorimetrie und Diffusivität des strömenden Mediums misst. Diese Technologie bietet im Vergleich zur herkömmlichen kalorimetrischen Messung eine viel bessere Linearität im gesamten dynamischen Bereich, beseitigt Gasempfindlichkeiten für Gase, die ähnliche Temperaturleitfähigkeiten haben, und erhöht die Mess- und Regelgenauigkeit, wenn sie mit einem Gasumwandlungsfaktor verwendet wird. Außerdem werden gleichzeitig die Temperaturdaten des Durchflussmediums ausgegeben und die Temperaturleistung des thermischen Messverfahrens verbessert.