Die Massendurchflusssensoren der Serie FS1100 werden mit der von Siargo entwickelten MEMS-Kalorimetrie (mikroelektromechanische Systeme) mit Diffusionssensortechnologie (Thermal-D ®) hergestellt, die
die Kalorimetrie und Diffusivität des Durchflussmediums misst. Diese Technologie bietet im Vergleich zur konventionellen kalorimetrischen Messung eine viel bessere Linearität im gesamten dynamischen Bereich, beseitigt Gasempfindlichkeiten für Gase, die ähnliche thermische Diffusivitäten aufweisen, und erhöht die Messgenauigkeit, wenn sie mit einem Gasumrechnungsfaktor verwendet wird. Außerdem werden gleichzeitig die Temperaturdaten des Durchflussmediums ausgegeben und die Temperaturleistung des thermischen Messverfahrens verbessert.
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