Massenströmungssensor FS8000 series

Gaszur Prozessüberwachungmit Analogausgang

Die Sensoren bieten die schnellste Reaktionszeit von 1 ms und eignen sich am besten für Automatisierungs-, Robotersteuerungs- und andere Instrumentierungsanwendungen. Diese Serie von Massendurchflusssensoren wurde mit einer schnellen Reaktionszeit für die Messung des Gasmassendurchflusses entwickelt und nutzt die firmeneigene MEMS-Sensor- und Steuerelektroniktechnologie. Halbleiterausrüstungen und Automatisierung sind zwei Zielanwendungen. ®Entwickelt für die Steuerungsautomatisierung ®Schnelle Ansprechzeit bis 1 msec ®Schneller Durchflussschalter ®Analoge und digitale Schnittstelle ®Großes Turn-Down-Verhältnis von über 100:1 ®Kompakte Stellfläche Anwendungen *Automatisierung von Anlagen *Robotik-Aktionen *Leckage-Erkennung *Instrumentierung *Prozessüberwachung mit trockenen Gasen *Durchfluss-Schaltung Durchflussbereich - 0- 100... 500 0 - 2000... 6000 - scheinen Genauigkeit - ±(2.0+0.5FS) - % Abschaltverhältnis - > 100:1 Leistungsaufnahme - £ 50,0 - mW Ansprechzeit - 5 msec typisch; bis zu 1 anpassbar - msec Maximaler Nenndruck - 0,5 - MPa Maximaler Druckverlust - 900 (typisch) - Pa Temperatur - -10-55 - °C Spannungsversorgung - 8 - 24 - Vdc Nullpunktverschiebung - ± 30,0 - mV Temperaturkoeffizient ±0,12 %/°C Ausgang - Linear, l2C; Analog 0,5 - 4,5 Vdc Mechanischer Anschluss - M5 / Rc 1/8 Eingang & M5 Ausgang Gewicht - 12 / 21 g