Die Sensoren sind für die Instrumenten- und/oder Verteilermontage vorgesehen. Es gibt zwei Versionen - niedriger Durchfluss bis zu 1000ccm und hoher Durchfluss bis 4SLPM.
Diese Serie von Massendurchflusssensoren ist für die Installation in Verteilern zur Messung des Gasmassendurchflusses konzipiert und nutzt die firmeneigene MEMS-Sensortechnologie. Instrumentierung und Automatisierung sind zwei Zielanwendungen.
®Designed for manifold installation
®Schnelle Ansprechzeit, anpassbar bis 10 msec
laminarer Durchfluss im vollen dynamischen Bereich
®Analoge und digitale Schnittstelle
®Großes Turn-Down-Verhältnis von über 100:1
®High/Low Flow Anwendungen
Anwendungen
*Durchflussmessung im Labor
*GC-Massenspektrometer
*Leckage-Erkennung
*Instrumentierung
*Prozessüberwachung mit trockenen Gasen
*Automatisierung
Durchflussbereich - 0-200... 1000 - 0 ~ 2000... 6000 - scheinen
Genauigkeit - ±(2.0+0.5FS) - %
Abschaltverhältnis - > 100:1
Leistungsaufnahme - <50.0 - mW
Ansprechzeit - 10 (Standard, 5, 10, 20, 50, 100, 500, 1000 wählbar) - msec
Maximaler Druckverlust 900 (typisch) Pa
Temperature_-10-55_°C
Spannungsversorgung - 8-24 - Vdc
Nullpunktverschiebung - ± 30,0 - mV
Temperaturkoeffizient - ±0,12 - %/°C
Ausgang - Linear, l2C; Analog 0,5 - 4,5 Vdc
Mechanischer Anschluss - Manifold ready
Gewicht - 15
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