Die Sensoren sind für Messgeräte wie GC und andere konzipiert. Sie können auch für die allgemeine Durchflussmessung unter 1000 scheinen verwendet werden.
Diese Serie von Massendurchflusssensoren ist in erster Linie für die Messung von Gas mit geringem Massendurchfluss mit der firmeneigenen MEMS-Sensortechnologie konzipiert. Die konditionierte Laminarströmung und die Elektronik gewährleisten eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Merkmale
®Entwickelt für die Messung geringer Gasmassenströme
schnelle Ansprechzeit, anpassbar bis 1 msec
®Laminarer Durchfluss im vollen dynamischen Bereich
®Analoge und digitale Schnittstelle
®Großes Turn-Down-Verhältnis von über 100:1
®Optional abgesetzte Ausführung
Anwendungen
*Durchflussmessung im Labor
*GC-Massenspektrometer
*Leckage-Erkennung
*Instrumentierung
*Prozessüberwachung mit trockenen Gasen
*Automatisierung
Durchflussbereich
0-30... 1000
scheinen
Genauigkeit - ±(1.5+0.5FS) - %
Abschaltverhältnis - > 100:1 -
Leistungsaufnahme - <50.0 - mW
Ansprechzeit - 65 (Standard, 4, 8, 16, 33, 131 wählbar) - msec
Maximaler Nenndruck - 0,5 - MPa
Maximaler Druckverlust - 30 (typisch) - Pa
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