Stationäres Dickenmessgerät SKM-iFTM series

Folienmit spektraler Reflexionsanalyse

Der bildgebende Schichtdickenmonitor ist ein Messinstrument, das die Schichtdickenverteilung einer transparenten Mehrschichtfolie sichtbar machen kann. Mit Hilfe der spektroskopischen Reflektometrie kann die Schichtdickenverteilung mit einer Auflösung von 0,1nm dargestellt werden. Visualisieren Sie die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke Messung der Schichtdicke/Qualität im Sichtfeld des Mikroskops, Darstellung der 3-D-Verteilung Auflösung der Schichtdicke: <0,1nm Gute Schichtdickenauflösung, gleichwertig mit den Spektrometrie-Werkzeugen. Die Wellenlänge kann von 450nm bis 750nm mit einer Genauigkeit von 1nm gewählt werden. Hohe Geschwindigkeit / Multilayer-Messung von bis zu 9 Schichten Parallele Verarbeitung durch die spektroskopische Reflektometrie Fortgeschrittene Anwendungen ① Mehrere hundert wiederholte Schichten wie z.B. Bandpass-Interferenzfilter und zusammengesetzte mehrschichtige Schichten wie z.B. die Trench-Struktur ② Schätzung der Dichte von Mustern im Submikrometerbereich unter Verwendung der Effective Medium Approximation (EMA) ③ Bewertung der Kristallinität eines lokalen Bereichs, z. B. durch Laser-Glühen