Stationäres Dickenmessgerät SK-FTM series
Folienmit spektraler ReflexionsanalysePräzision

stationäres Dickenmessgerät
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Eigenschaften

Typ
stationär
Anwendung
Folien
Technologie
mit spektraler Reflexionsanalyse
Weitere Eigenschaften
Präzision, Inline, kompakt
Messbereich

Max: 50.000 nm

Min: 10 nm

Umgebungstemperatur

Max: 45 °C
(113 °F)

Min: 18 °C
(64,4 °F)

Beschreibung

Das kompakte Schichtdickenmessgerät ist ein reflexionsspektralphotometrisches Schichtdickenmessgerät, das eine kleine Reflexionssonde verwendet und in allen Situationen vom Labor bis zur Inline-100%-Kontrolle im Produktionsprozess eingesetzt werden kann. Es ist sehr wartungsfreundlich und kann in die Prozessausrüstung und das Linienmanagement integriert werden. Die gleichzeitige Messung von bis zu 9 Arten von transparenten Folien ist möglich. Er kann als Inline- oder Endpunkt-Monitor für die verschiedenen mehrschichtigen Folienprozesse eingesetzt werden. Die kompakte Sonde kann auf kleinstem Raum innerhalb des Prozesswerkzeugs installiert werden. Es ist auch möglich, das Mischungsverhältnis der gemischten Schicht oder die Kristallinität von Poly-Silizium mit Hilfe der EMA-Theorie zu beurteilen.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.