Stationäres Dickenmessgerät SK-FTM series

Folienmit spektraler ReflexionsanalysePräzision

Das kompakte Schichtdickenmessgerät ist ein reflexionsspektralphotometrisches Schichtdickenmessgerät, das eine kleine Reflexionssonde verwendet und in allen Situationen vom Labor bis zur Inline-100%-Kontrolle im Produktionsprozess eingesetzt werden kann. Es ist sehr wartungsfreundlich und kann in die Prozessausrüstung und das Linienmanagement integriert werden. Die gleichzeitige Messung von bis zu 9 Arten von transparenten Folien ist möglich. Er kann als Inline- oder Endpunkt-Monitor für die verschiedenen mehrschichtigen Folienprozesse eingesetzt werden. Die kompakte Sonde kann auf kleinstem Raum innerhalb des Prozesswerkzeugs installiert werden. Es ist auch möglich, das Mischungsverhältnis der gemischten Schicht oder die Kristallinität von Poly-Silizium mit Hilfe der EMA-Theorie zu beurteilen.