Sputter-Auftragsmaschine / Inline

Schlüsselwörter: Metalldraht, Metallstreifen, gedrehte Basaltfasern, gedrehte Glasfasern, gedrehte Kohlenstofffasern, verschiedene chemisch gedrehte Fasern, optische Fasern, Oberflächenbehandlungsbeschichtungslinie, Funktionsbeschichtungslinie, optische Funktionsbeschichtungslinie, Vakuumabscheidungsanlage für kontinuierliche Drähte und Streifen, Nanometer-Dünnschichtabscheidungslinie Beschichtungsfilme – keine Einschränkung Abscheidungsfilme: 1.1 Leitfähige Metalle: Al, Cr, Cu, Ti, Zr, Ag, Au, Ni usw. 1.2 Nichtleitende Filme auf Metallbasis: Tantal (Ta), TaN, Ta2O5, Silizium (SiOx), Indium (In), Niob (Nb), TiNbN usw. Die durchgehende Air-to-Air-Beschichtungslinie ist ein vollständiger kontinuierlicher Beschichtungsprozess, der eine Vorbehandlung in der Atmosphäre umfasst. Anschließend werden die Substrate (Streifen oder Drähte) in die Vakuumkammer geführt, um Metallfilme abzuscheiden. Anschließend werden sie durch Pufferkammern wieder in die Atmosphäre zurückgeführt. Die wichtigsten Strukturmodule der durchgehenden Air-to-Air-Beschichtungslinie: A: Modul zur Vorbehandlung der Substrate (Streifen oder Drähte) B: Abkühlmodul C: Glühmodul D: Filmabscheidungskammer E: Schleifenvorrichtungen und Vakuumpufferkammer.