Sputter-Auftragsmaschine / waagerecht / online RTSP1480

Inlinemit Magnetron

Die Air-to-Air-Durchlaufbeschichtungsanlage ist ein vollständiger kontinuierlicher Beschichtungsprozess, der eine Vorbehandlung in der Atmosphäre umfasst. Anschließend werden die Substrate (Streifen oder Drähte) in die Vakuumkammer geführt, um Metallfilme abzuscheiden. Anschließend werden sie durch Pufferkammern wieder in die Atmosphäre zurückgeführt. Die wichtigsten Strukturmodule der Beschichtungsanlage: A: Modul zur Vorbehandlung der Substrate (Streifen oder Drähte) B: Abkühlmodul C: Glühmodul D: Filmabscheidungskammer E: Schleifenvorrichtungen und Vakuumpufferkammer. Die Struktur, der Betrieb und das Steuerungssystem der gesamten Beschichtungsanlage sind komplexer und erfordern eine extrem hohe Investition, aber die Vorteile einer hohen Leistung und einer effizienten Senkung der Produktionskosten machen sie für Hersteller sehr attraktiv. 1. Beschichtungsfilme: 1.1 Leitfähige Metalle: Al, Cr, Cu, Ti, Zr, Ag, Au, Ni usw. 1.2 Nichtleitende Filme auf Metallbasis: Tantal (Ta), TaN, Ta2O5, Silizium (SiOx), Indium (In), Niob (Nb), TiNbN usw. Anwendung 1. Leitfähige Metallfilamente 2. Metallspulenstreifen, Dicke weniger als 1 mm 3. Glasfaserkabel 4. Chemiefaserdrähte 5. Chemiefaserleitung 6. Kupferbeschichtung von Glas- und Kohlenstoffgarnen 7. Aluminiumbeschichtung von Kohlenstoff- und Glasgarnen 9. PVD-versilberter Kupferdraht, 10. Versilbertes Glasfaserkabel 11. Maschine zur Vergoldung von Drähten 12. Versilberter Kupferstreifen 13. Versilberung von Kupfer-, Bronze- und Messingkabeln 14. Neue Mehrschichtbeschichtungslinie für Kupferdrähte und -streifen 15. Versilberung Maschine für Glasfaserkabel