Magnetron-Spritzenquellspezifikationen
Hauptmerkmale
1. Begrenzter Elementmagnetfeldentwurf
2. Magnet lokalisiert von Kühlwasser
3. Kompatibel mit DC-/MF und Rf-Energien
4. Hohe Zielnutzung
5. Justierbare ausstoßende Richtung
6. Dichte der hohen Leistung und ausgezeichnete Einheitlichkeit
7. Ausgeglichene und unausgeglichene Moduswahl