Sputter-Beschichtungsmaschine RTSP-400

Labor

1. Das UHV Spritzensystem wird mit ausgerüstet DC-Spritzengewehre, zum der halb-leitfähigen und nicht leitfähigen Materialien (Si, SiO2, Al2O3, Si3N4, Cr2O3, ITO und andere Materialien) niederzulegen. Rfspritzengewehr, zum des leitfähigen materiellen Aluminiums, des Silbers, des Goldes etc. niederzulegen. DC- und Rf-Stromversorgungsquellen können ausgetauschtes flexibles sein. 2. Die UHV Spritzensystemanwendungen von Leitfähige Beschichtungen auf polymerischen Materialien, Holz, Gewebe bei niedrigen Temperaturen kleiner ℃ als 100 Anwendung von leitfähigen Beschichtungen auf Glas, Keramik und anderen dielektrischen Materialien. 3. Technische Leistung: 3. 1 entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6. 3. 2. funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4. 3. 3. Pumpingdown-Zeit: von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤ 3 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer) 3. 4. materielles (spritzendes) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… etc. metallisierend. 3. 5. funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell