PVD-Auftragsmaschine RTAS1000

Magnetron-SputterDünnschichtVakuum

Tantal wird wegen seiner guten Erosionsbeständigkeit in der Elektronikindustrie am häufigsten als Schutzbeschichtung verwendet. Anwendungen: 1. Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesputtert werden können und somit der spezifische Widerstand und der Temperaturkoeffizient des Widerstands gesteuert werden können; Medizinische Instrumente wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität; Beschichtungen auf korrosionsbeständigen Teilen wie Schutzrohren, Ventilkörpern und Befestigungselementen; Gesputtertes Tantal kann auch als wirksame Korrosionsbeständigkeitsbarriere verwendet werden, wenn die Beschichtung durchgehend, defekt und an dem zu schützenden Substrat haftend ist. Technische Vorteile 1. Ein standardisierter Wagen wird verwendet, der ein einfaches und sicheres Be- und Entladen der Substrathalter und Werkstücke in die/aus der Beschichtungskammer ermöglicht 2. Das System ist sicherheitsverriegelt, um Fehlbedienung oder unsichere Praktiken zu verhindern 3. Die Substratheizungen sind in der Mitte der Kammer montiert, PID-gesteuertes Thermoelement für hohe Genauigkeit, um die Haftung des Kondensationsfilms zu verbessern 4. Starke Vakuumpumpenkonfigurationen mit Molekularpumpe mit Magnetsuspension über ein mit der Kammer verbundenes Absperrventil; Unterstützt mit Leybolds Wälzkolbenpumpe und zweistufiger Drehschieberpumpe, mechanische Pumpe. 5. Bei diesem System wird eine hochenergetische ionisierte Plasmaquelle angewendet, um die Gleichmäßigkeit und Dichte zu gewährleisten.