PVD-Auftragsmaschine RTSP1000-Tantalum

Magnetron-SputterDünnschichtVakuum

Tantal wird in der Elektronikindustrie aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit am häufigsten als Schutzbeschichtung verwendet. Anwendungen 1. Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesputtert werden können und somit der spezifische Widerstand und der Temperaturkoeffizient des Widerstands gesteuert werden können; Medizinische Instrumente wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilitätseigenschaft; Beschichtungen auf korrosionsbeständigen Teilen wie Schutzrohren, Ventilkörpern und Befestigungselementen; Gesputtertes Tantal kann auch als wirksame Korrosionsbeständigkeitsbarriere verwendet werden, wenn die Beschichtung durchgehend, defekt und am Substrat haftend ist, um sie zu schützen. Vorteile Es wird ein standardisierter Wagen verwendet, der ein einfaches und sicheres Be- und Entladen der Substrathalter und Werkstücke in / aus der Abscheidekammer ermöglicht. -Das System ist sicherheitsverriegelt, um Fehlbedienungen oder unsichere Praktiken zu vermeiden. -Die Substratheizungen sind in der Mitte der Kammer mit einem PID-gesteuerten Thermoelement für hohe Genauigkeit ausgestattet, um die Haftung des Kondensationsfilms zu verbessern. -Starke Vakuumpumpenkonfigurationen mit magnetisch suspendierter Molekularpumpe über Absperrschieber an Kammer angeschlossen; unterstützt mit Leybolds Wurzelpumpe und zweistufiger Drehschieberpumpe, mechanischer Pumpe. - Bei diesem System wird eine hochenergetische ionisierte Plasmaquelle verwendet, um die Gleichmäßigkeit und Dichte zu gewährleisten.