Vakuum-Auftragsmaschine RT-Multi950

PVDHoch -PE-CVDSputter

Eigenschaften der Maschine Multi950: Kompakter Abdruck, Standardmodularbauweise, Flexibel, Zuverlässig, Oktalkammer, 2 Klappenstruktur für guten Zugang, PVD- + PECVD-Prozesse. Ausrüstungsbeschreibungen: 1. Flexibilität: Bogen- und Spritzenkathoden, Ionenquellbefestigungsflansche werden für flexiblen Austausch standardisiert; 2. Vielseitigkeit: Dosenpfandvielzahl von unedlen Metallen und von Legierungen; optische Beschichtungen, harte Beschichtungen, weiche Beschichtungen, Verbundfilme und feste schmierende Filme auf den metallischen und nicht-metallischen Materialsubstraten. 3. direkter Entwurf: 2 Klappenstruktur, Front u. hintere Öffnung für einfache Wartung. Die Maschine Multi950 ist ein kundengebundenes Mehrfachverbindungsstellenfunktions-Bedampfensystem für R&d. Mit der Diskussion des helben Jahres mit dem Team Shanghai-Universität, das durch Professor Chen verbleit ist, bestätigten wir schließlich den Entwurf und die Konfigurationen, um ihr zu erfüllen R&D-Anwendungen. Dieses System ist in der Lage, transparenten DLC-Film mit PECVD-Prozess, harte Beschichtungen auf Werkzeugen und optischen Film mit Spritzenkathode niederzulegen. Basiert auf diesem VersuchsmaschinenKonzept des Entwurfes, haben wir 3 andere Anstrichsysteme nach dann entwickelt: 1. Zweipolige Platten-Beschichtung für elektrische Fahrzeuge FCEV1213 Fuel Cells, 2. keramisch verweisen Sie überzogenes Kupfer DPC1215, 3. flexibles Spritzensystem RTSP1215.