Elektrisches Ultra-Hochvakuum-Schieberventil der CCD-Serie
Anwendbarer Bereich (Pa) - 105~1.3×10-7
Gasleckrate (Pa.L/S) - ≤1,3×10-7
≤1.3×10-7
Ventil "s Rösttemperatur(℃) - ≤150(Außer der Antriebsvorrichtung)
Druckdifferenz beim Öffnen der Ventilteller (Pa) - ≤3×103
Versorgungsdruck - AC220V/50Hz
Ein oder Aus Zeit S - ≤50
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