AC/AC-Netzteil ECB

Einfachausgang

Bei der ECB-Serie handelt es sich um Hochspannungsverstärker für elektrostatische Saugnäpfe (E-Chuck, ESC). Zusätzlich zur Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet die Familie auch ein Wafer-Überwachungssystem, um die Anforderungen der Wafer-Inspektion zu erfüllen. Darüber hinaus unterstützt die Serie mit ihrem breiten Spannungsbereich elektrostatische Coulomb- und Johnsen-Rahbek-Sauger. Anwendung： Elektrostatisch angetriebener Materialtransport Halbleiter-Wafer-Verarbeitung Nichtmechanischer Transfer von Platten oder anderen bearbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren