Die Hochspannungsnetzgeräte der EMC-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzgeräte mit mehreren Ausgängen für fokussierte Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind die Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie, die Halbleiteranalyse, das Fräsen und Reparieren von optischen Laufwerksköpfen, das Ionenstrahlätzen und die Lithographie mit fokussierten Ionenstrahlen. Die modulare Bauweise ermöglicht eine einfache Konfiguration der einzelnen Komponenten in einer gemeinsamen Baugruppe auf einem großen Chassis. Die Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen werden in Oberflächenmontagetechnik hergestellt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, Absorberstromversorgung, Suppressorstromversorgung und Linsenstromversorgung. Geringe Ausgangswelligkeit, ausgezeichnetes Abstimmungsverhältnis, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Wismans einzigartige Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die Hochpräzisionsmodule der EMC-Serie sind preislich konkurrenzfähig und ideal für OEM-Anwendungen.
ANWENDUNGEN:
Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
Stromversorgung für den Elektronenstrahl
Analyse, Verarbeitung und Reparatur von Halbleitern
Ionenstrahl-Ätzen
Fokussierte Ionenstrahl-Lithographie
Technische Parameter:
Beschleunigte Stromversorgung
Ausgangsstrom:
100μA, 300μA
Restwelligkeit:
100μA:75 mV P-P,von 0,1 HZ bis1MHZ
300μA:120 mV P-P,von 0,1 Hzbis1MHZ
Eingangsanpassungsverhältnis:
Eingangsabweichung +/-10% für 100mV
Lastanpassungsrate:
± 0,01%, maximale Spannung, volle Lastvariation
Stabilität:
1.5V/10 Stunden nach 2 Stunden Vorwärmung
Temperaturkoeffizient:
25 PPM/°C
Filament-Stromversorgung:
Restwelligkeit:
Last Anpassungsverhältnis:
± 0,1 %, maximale Spannung, Volllastvariation
Netzanpassungsverhältnis:
+/-10% Abweichung bis 5mA
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