DC/DC-Netzteil ECD

ISO

Die ECD-Serie der softwaregesteuerten Wisman-Stromversorgungen für elektrostatische Spannvorrichtungen bietet eine Reihe von Funktionen für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen. Das Gerät enthält die Wisman-Verstärkertechnologie, die nachweislich die Effizienz und den Durchsatz im Vergleich zu anderen Stromversorgungen um das Dreifache erhöht. Reduzierung von Gasfehlern auf der Rückseite, Erhöhung des Durchsatzes und Beseitigung von Wafer-Sticking/Popping-Problemen; Steuerung von Parametern wie Überstrom, Wafer-Präsenz und Wafer-Clamp-Schwellenwerte, Clamp-Spannung, Offset-Spannung und interne oder externe Amplituden-/Offset-Steuerung; Vielseitigkeit bei der Amplituden-/Offset- und Ausgangssteuerung während der Einstellung; Steuerung des Ausgangs über rückseitige E/A, serielle Computerbefehle oder Bedienelemente auf der Vorderseite; Konfiguration von benutzerdefinierten Clamping- und Declamping-Sequenzen und Wellenformen. Die vielseitige und bewährte Leistung des ECD von Wisman ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von einzigartigen Werkzeugen und Prozessen, ohne dass für jedes einzelne Werkzeug oder jeden Prozess in der Anlage neue Kosten anfallen. Merkmale: Abschließbare Frontplatten-Steuerungsschnittstelle. Jedes Gerät wird mit einem rückführbaren Kalibrierungszertifikat geliefert. Unterstützt Coulombic und Johnsen-Rahbek ESC Technologien. Elektrostatische Futterprofile werden über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle auf das Gerät hochgeladen und gespeichert und intern gespeichert. Wafer-Erkennung, einschließlich keine Wafer, Wafer vorhanden oder Wafer-Klemmstatus. Anwendungsbereiche: Elektrostatisch angetriebene Materialhandhabung. Halbleiter-Wafer-Verarbeitung. Nichtmechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren.