Spannungsverstärker ECA

SchaltHochspannungbipolar

Bei der ECA-Serie handelt es sich um Hochspannungsverstärker für elektrostatische Spannvorrichtungen (E-Chuck, ESC). Zusätzlich zur Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet diese Serie auch ein Wafer-Überwachungssystem für Wafer-Inspektionsanforderungen. Mit einem breiten Spannungsbereich unterstützt die Serie außerdem elektrostatische Chucks nach Coulomb und Johnsen-Rahbek. Typische Anwendung: Elektrostatisch angetriebenes Materialhandling Halbleiter-Wafer-Verarbeitung Nichtmechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren Merkmale und Vorteile: Zuverlässige Erkennung des Klemm-/Freigabezustands durch Wafersensor Schnelles Ansprechen der Verstärkerarchitektur ("keine Relais-Polaritätsumkehr" für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer) "Unabhängige Zweikanalsteuerung (Option)" und "Einstellung der Mittelabgriffspannung (Option)" für verschiedene Spann-/Freigabevorgänge Ausgestattet mit LAN, USB, RS-232C Digitalschnittstelle Eingebauter RF-Tiefpassfilter (13,56 MHz) Wahlweise CT Mittelabgriff-Vorspannung 0 bis ±[maximale Tarifspannung - Spannungssollwert] Fakultativ ET Ethernet CAT-Schnittstelle (demnächst) Optional DS Unabhängige Zweikanalsteuerung Wahlweise AC Wahlweise L7 Ausgangshochspannungskabel 7m x 3 (2, wenn CT oder DS gewählt wird)