Die Hochspannungsnetzgeräte der HSEM-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzgeräte mit mehreren Ausgängen für die Fokussierung von Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind Transmissions- und Rasterelektronenmikroskope, Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Antriebsköpfen, Ionen, Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithographie. Die modulare Bauweise ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnik ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, absorbierende polare Leistung, inhibierende polare Leistung und Linsenleistung. Ultra-niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die Hochpräzisionsmodule der HSEM-Serie sind preislich konkurrenzfähig und eignen sich ideal für OEM-Anwendungen.
TYPISCHE ANWENDUNG
Transmissionselektronenmikroskopie
Rasterelektronenmikroskopie
Analyse von Halbleitern
Fräsen und Reparatur
Ionenstrahl-Ätzen
Fokussierte Ionenstrahllithographie
Restwelligkeit 2ppm
SPEZIFIKATION
Stromversorgung für den Beschleuniger
Leitungsregelung: Eingangsänderung + / -10% für 100mV
Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung
Stabilität: 1,5V/10 Stunden nach einer Aufwärmzeit von 2 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C
Filament-Stromversorgung
Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC
Restwelligkeit: 10mA P-P,
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