TYPISCHE ANWENDUNG
Transmissions-Rasterelektronenmikroskop,Rasterelektronenmikroskop,Halbleiteranalyse,Verarbeitung und Reparatur,Ionenstrahlätzen,Fokussierte Ionenstrahllithographie,Beschleunigerleistung
Die Hochspannungsnetzgeräte der HEM-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzgeräte mit mehreren Ausgängen für die Fokussierung von Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind die Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie, die Halbleiteranalyse, das Fräsen und Reparieren von optischen Antriebsköpfen, Ionen, Strahlätzung und fokussierte Ionenstrahllithographie. Die modulare Bauweise ermöglicht eine einfache Konfiguration und Montage der einzelnen Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Gestell. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnik ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, absorbierende polare Leistung, inhibierende polare Leistung und Linsenleistung. Ultra-niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die hochpräzisen Module der HEM-Serie sind preislich konkurrenzfähig und eignen sich ideal für OEM-Anwendungen.
Restwelligkeit: 70 mV P-P, von 0,1 Hz bis 1MHZ
Leitungsregelung: Eingangsänderung + / -10% für 100mV
Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung
Stabilität: nach 2 Stunden Aufwärmen, 1,5V/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C
Filament-Stromversorgung
Restwelligkeit: 10mA P-P, von 0,1 Hz bis 1MHZ
Line Regelung: + / -10% Änderung auf 5mA
Lastregelung: ± 0,1%, maximale Spannung, Volllastwechsel
Stabilität: 5mA/10 Minuten nach einer Aufwärmzeit von 2 Stunden
Temperaturkoeffizient: 200 PPM/°C
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