1-Achs-Beschleunigungsmesser ER-MA-6

MEMSplatzsparend

MEMS-Beschleunigungsmesser (Micro Electro Mechanical Systems) sind Beschleunigungsmesser, die mit Hilfe der MEMS-Technologie hergestellt werden. Durch den Einsatz der mikroelektromechanischen Systemtechnologie wird die Größe stark reduziert, und ein MEMS-Beschleunigungsmesser ist nur noch ein Bruchteil der Größe eines Fingernagels. MEMS-Beschleunigungsmesser haben die Vorteile einer geringen Größe, eines geringen Gewichts und eines niedrigen Energieverbrauchs. Der ER-MA-6 ist ein Trägheitssensor, der die durch die Schwerkraft verursachte lineare Beschleunigung messen kann. Bei diesem Produkt handelt es sich um einen MEMS-Beschleunigungssensor mit großer Reichweite, ultrahoher Präzision, hoher Zuverlässigkeit und geringem Stromverbrauch. Merkmale Großer Bereich, ultrahohe Präzision, hohe Zuverlässigkeit und geringer Stromverbrauch Klasse II Nichtlinearität: <10µg/g2 Vorspannungsstabilität (1s glatt) (1σ): <15ug Vorspannungsstabilität (10s glatt): <5ug Bias-Instabilität (Allan-Kurve): <2ug Anwendungen Inertialmessung: Trägheitsführung, Überlastmessung, integrierte Navigation Neigungsmessung: Antennenlage, Plattformmessung, Neigungswinkeltest Schwingungsmessung: mechanische Ausrüstung, Brücken und Dämme, Sicherheitstests Spezifikationen Verkapselung - CLCC48 - Achse - Y - Bereich - 60 - g Faktor Skala Nichtlinearität - 150 - Hz Gruppenlaufzeit - <3 - ms Klasse II Nichtlinearität - <10 - µg/g2 Rauschen - <30 - µg/√Hz @1hz Schwellenwert - <30 - µg Werksvorspannung (Raumtemperatur) - <±1 - mg (Kalibrierwert bei Raumtemperatur) Werkseitige Bias-Temperaturdrift - <±0.5 - mg Werkseitige Bias-Temp-Hysterese - <0.2 - mg