Kapazitiver Druckschalter 730

Membranabsolutfür Gas

Das Modell 730 von Setra ist ein hochgenaues Kapazitätsmanometer (auch als Kapazitäts-Membranmanometer (CDG) bezeichnet) zur Messung von Niedervakuum-Druckbereichen, die für die Steuerung von Prozessen in Photovoltaik-, Halbleiter- und Industriemärkten entscheidend sind. Seine Ablesegenauigkeit von 0,5% und seine präzise Auflösung machen das 730 zur bevorzugten Wahl gegenüber der Konkurrenz. Der 730 verwendet das gesamte Inconel® benetzte Material, wodurch er mit den aggressiven Medien in Halbleiterprozessen eingesetzt werden kann. Das direkte Messdesign des 730 ermöglicht genaue Messungen der Medien unabhängig von der Zusammensetzung der Gasmischung in der Anwendung. Hohe Leistung für anspruchsvolle Anwendungen - Das Kapazitätsmanometer Modell 730 verwendet ein variables Kapazitätssensorelement mit einer einzigen Membran für anspruchsvolle Halbleiter- und industrielle Vakuumanwendungen. Die prozentuale Ablesegenauigkeit, die hohe Auflösung und der große Dynamikbereich machen das 730 zu einer idealen Lösung für kritische Fertigungsprozesse. Vielseitige Kompatibilität mit Inconel®-Design - Der 730 wurde unter Verwendung von Inconel® für alle medienberührten Teile konstruiert. Inconel® ist sehr widerstandsfähig gegen die korrosiven Medien, die in Halbleiter- und industriellen Vakuumprozessen verwendet werden. Ihr Material, zusammen mit der vollständig geschweißten Konstruktion, gewährleistet eine lange Lebensdauer innerhalb der Anwendung. Direkte Druckmessung - Das Modell 730 ist mit einer Membrane ausgestattet, die Druckänderungen direkt am Einsatzort misst. Im Gegensatz zu anderen Kapazitätsmanometern in der Industrie misst das Modell 730 den direkten Druck; es ist unabhängig von der zu messenden Gasmischung. Dadurch verfügt das 730 über eine höhere Genauigkeit als ein Manometer, das nur indirekten Druck messen kann.