Argon-Analysator DF-750 ULTRA

StickstoffHeliumSauerstoff

Der DF-750 ULTRA ist die erste Wahl bei der Feuchtebestimmung in der Halbleiterindustrie Der DF-750 ULTRA ist ein Trace/Ultra-Trace-Analysator, der für die branchenweit besten Feuchtemessungen in ultrahochreinen (UHP) Gasen optimiert ist, die in 300-mm-Halbleiterfabriken verwendet werden. Hochstabile TDL-Trace/Ultra-Trace-Messungen Eine kompromisslose Lösung Hohe Zuverlässigkeit Das DF-750 ULTRA wurde speziell für Spuren- und Ultraspuren-Feuchtemessungen in einer Reihe von UHP-Gasen entwickelt und ist für 300-mm-Halbleiterfabriken optimiert. Er misst Feuchtigkeit als Verunreinigung in den Elektronikgasen Stickstoff, Wasserstoff, Helium, Argon und Sauerstoff. Die TDL-Sensortechnologie (Tunable Diode Laser) liefert eine branchenweit führende untere Nachweisgrenze (LDL) von 55 ppt (parts per trillion) und stellt sicher, dass die stabilen, hochpräzisen Messungen des DF-750 ULTRA die präzisen Überwachungsanforderungen der Halbleiterproduktion erfüllen. Der robuste DF-750 ULTRA hat einen geringen Wartungsbedarf über die gesamte Lebensdauer und bietet eine Null-Drift-Stabilität, was die Kalibrierungsintervalle erheblich verlängert. Diese niedrigen Betriebskosten in Verbindung mit der außergewöhnlichen Messleistung machen den DF-750 ULTRA zur ersten Wahl für die Qualitätskontrolle von UHP-Gasen. Der DF-750 ULTRA wurde entwickelt, um die außergewöhnlichen Gasreinheitsstandards zu erfüllen, die von Halbleiterherstellern weltweit gefordert werden. Durch den Einsatz modernster TDL-Sensortechnologie in einer robusten und widerstandsfähigen Herriot-Zelle vermeidet der DF-750 ULTRA den Kontakt von Feuchtigkeit mit optischen Sensorkomponenten. Das Ergebnis ist ein Analysator, der ein hochempfindliches Ergebnis liefert,