Sauerstoffanalysator DF-760E

WasserstoffÜberwachungSpuren

Der kompakte DF-760E-Analysator wurde für die Qualitätskontrolle von UHP-Bulk-Gasen entwickelt und ist eine einzigartige Lösung für die duale Messung von Spuren- und Ultraspurenfeuchte (H2O) und Sauerstoff (O2). Hochstabile TDL-Spuren-/Ultra-Spurenmessungen Eine kompromisslose Lösung Einfache Wartung und reduzierte laufende Kosten Der DF-760E ist eine kompakte integrierte Lösung für die gleichzeitige Überwachung von Spurenfeuchte und Spurensauerstoff. Er wurde für die Überwachung von UHP-Bulk-Gasen entwickelt, die bei der Herstellung von integrierten Leiterplatten verwendet werden. Der DF-760E kombiniert die branchenführenden Eigenschaften des nicht abbauenden coulometrischen Sensors von Servomex mit der robusten Technologie des abstimmbaren Diodenlasers (TDL) in einer einzigen kompakten Einheit und misst extrem niedrige Verunreinigungswerte von H2O und O2 in Hintergrundgasgemischen aus Stickstoff (N2), Wasserstoff (H2), Helium (He), O2 und Argon (Ar) (H2O nur in O2). Mit außergewöhnlich niedrigen, branchenführenden unteren Nachweisgrenzen (LDL) von 100 ppt (H2O) und 45 ppt (O2) bietet der DF-760E eine schnelle Reaktionszeit, unübertroffene Stabilität und Unempfindlichkeit gegenüber Säurespuren, wodurch er sich ideal für die Qualitätskontrolle und Lecksuche in Halbleiter-FAB-Anwendungen eignet. Diese unübertroffene Messleistung wird durch ein wartungsarmes Design unterstützt, das durch die widerstandsfähigen Null-Drift-Sensortechnologien erreicht wird, die keine laufende Kalibrierung erfordern. Bei der Herstellung von integrierten Leiterplatten ist die Qualitätskontrolle von UHP-Gas in Elektronikqualität entscheidend.