Stickstoffanalysator DF-750

SauerstoffWasserstoffÜberwachung

Der DF-750 ist die erste Wahl für die Feuchtigkeitsanalyse in der Halbleiterindustrie Der DF-750 ist ein Trace/Ultra-Trace-Feuchtigkeitsanalysator, der für Messungen in ultrahochreinen (UHP) Gasen optimiert ist, die in 300-mm-Halbleiterfabriken verwendet werden. Hochstabile TDL-Trace/Ultra-Trace-Messungen Eine kompromisslose Lösung Einfache Wartung und reduzierte laufende Kosten Der DF-750 wurde speziell für Spuren- und Ultraspuren-Feuchtemessungen in einer Reihe von UHP-Gasen entwickelt und ist für 300-mm-Halbleiterfabriken optimiert. Er misst Feuchtigkeit als Verunreinigung in den Elektronikgasen Stickstoff, Wasserstoff, Helium, Argon und Sauerstoff. Die TDL-Sensortechnologie (Tunable Diode Laser) liefert eine branchenführende untere Nachweisgrenze von 100 ppt (parts per trillion) und gewährleistet, dass die stabilen, hochpräzisen Messungen des DF-750 die präzisen Überwachungsanforderungen der Halbleiterproduktion erfüllen. Der robuste DF-750 hat einen geringen Wartungsbedarf über die gesamte Lebensdauer und bietet eine Null-Drift-Stabilität, was die Kalibrierungsintervalle erheblich verlängert. Diese niedrigen Betriebskosten in Verbindung mit einer außergewöhnlichen Messleistung machen den DF-750 zur ersten Wahl für die Qualitätskontrolle von UHP-Gasen. Hochstabile TDL-Trace/Ultra-Trace-Messungen Der DF-750 wurde entwickelt, um die außergewöhnlichen Gasreinheitsstandards zu erfüllen, die von Halbleiterherstellern weltweit gefordert werden. Durch den Einsatz modernster TDL-Sensortechnologie, die in einer robusten und widerstandsfähigen Herriot-Zelle untergebracht ist, vermeidet der DF-750 den Kontakt von Feuchtigkeit mit optischen Sensorkomponenten. Das Ergebnis ist ein Analysator, der eine ultra-empfindliche