Gasanalysator DF-745

ÜberwachungFeuchteSpuren

Der TDL DF-745 misst die Feuchtigkeit bei UHP-Gasprüfungen Mit der branchenführenden Technologie des abstimmbaren Diodenlasers (TDL) liefert der DF-745 Feuchtigkeitsmessungen im Spuren- und Ultraspurenbereich für die Prüfung von ultrahochreinen (UHP) elektronischen Gasen in LED/LCD-Herstellungsprozessen. Flexible TDL-Spuren- und Ultraspurenmessungen Eine kompromisslose Lösung Einfache Wartung und reduzierte laufende Kosten Der DF-745 ermöglicht die Messung von Feuchtigkeitsverunreinigungen im Spuren- und Ultraspurenbereich für LED/LCD-Herstellungsprozesse. Er ist in der Lage, mehrere Hintergrundgase zu überwachen und bietet außergewöhnliche Leistung und betriebliche Flexibilität in einer kompakten Einheit. Dank seines intelligenten und robusten Hardware-/Softwaredesigns kann dieser Analysator problemlos von einem Hafen zum anderen transportiert werden, wodurch die bei diesen Anwendungen häufig auftretenden Trockenzeiten praktisch eliminiert werden. Der DF-745 bietet eine untere Nachweisgrenze (LDL) von 1 ppb (part-per-billion) und liefert äußerst zuverlässige Basislinienmessungen sowie eine schnelle Reaktionszeit. Eine robuste Herriott-Zelle verhindert den Verlust der Spiegelreflexion, während der Kontakt von Feuchtigkeit mit optischen Komponenten minimiert wird, um eine genaue Messung zu gewährleisten. Die Nullpunktdrift verlängert die Kalibrierungsintervalle, während die laufende Wartung minimal ist Flexible TDL-Spuren- und Ultraspurenmessungen Moderne LCD- und LED-Fertigungsprozesse erfordern eine Ultra-Spurenqualitätsmessung für Feuchtigkeitsverunreinigungen in hochreinen Elektronikgasen. Für eine solche spezielle Anwendung benötigen die Anwender eine Analyse, die eine hohe Genauigkeit und extrem niedrige Nachweisgrenzen in mehreren Hintergrundgasen bietet.